近日，上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司向12吋集成電路新客戶交付了首臺(tái)面向CIS(CMOS Image Sensor)的大束流離子注入機(jī)。據(jù)悉，2024年一季度，凱世通每月向多家重復(fù)訂單客戶發(fā)貨多臺(tái)離子注入機(jī)設(shè)備，僅單季度搬入客戶端即有8臺(tái)離子注入機(jī)，展現(xiàn)了快速發(fā)展的強(qiáng)勁勢(shì)頭，實(shí)現(xiàn)了一季度開(kāi)門(mén)紅。

面向CIS的離子注入機(jī)出廠交付

集成電路產(chǎn)業(yè)是電子信息產(chǎn)業(yè)的核心，是支撐國(guó)家經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展的戰(zhàn)略性、基礎(chǔ)性、先導(dǎo)性產(chǎn)業(yè)，也是當(dāng)前我國(guó)亟須重點(diǎn)突破的領(lǐng)域。離子注入機(jī)與光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、薄膜沉積設(shè)備被稱為芯片制造的“四大核心前道設(shè)備”。由于系統(tǒng)復(fù)雜、技術(shù)門(mén)檻高、工藝結(jié)果驗(yàn)證困難等各方面原因，我國(guó)在離子注入機(jī)環(huán)節(jié)的國(guó)產(chǎn)化率不足5%，國(guó)產(chǎn)替代市場(chǎng)空間廣闊。

凱世通堅(jiān)持以產(chǎn)業(yè)需求和技術(shù)創(chuàng)新為牽引，實(shí)現(xiàn)了低能大束流離子注入機(jī)、超低溫離子注入機(jī)、高能離子注入機(jī)產(chǎn)業(yè)化和重復(fù)訂單。此次攻克技術(shù)難度極高的CIS大束流離子注入機(jī)進(jìn)一步表明凱世通在關(guān)鍵核心技術(shù)上具備持續(xù)自主研發(fā)創(chuàng)新的卓越能力，積極踐行發(fā)展新質(zhì)生產(chǎn)力，推動(dòng)離子注入機(jī)技術(shù)突破與產(chǎn)品迭代。

后續(xù)凱世通將在離子注入機(jī)領(lǐng)域繼續(xù)深耕細(xì)作、創(chuàng)“芯”升級(jí)，豐富產(chǎn)品組合，以更優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品回饋客戶，服務(wù)集成電路客戶高質(zhì)量發(fā)展。

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